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精密定位平台精密定位平台,高精密定位平台,六自由度定位平台,并联机器人平台的详细信息负载 500kg 转动精度 10角秒 XY方向转动范围 12度 Z方向转动范围 15 移动精度 2μm XY移动范围 50mm Z移动范围 80m |
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